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      • 芯片光刻涂膠為何如此青睞HMDS烤箱

        下面為大家分析HMDS烤箱HMDS 預處理系統的必要性

      • HMDS預處理系統

      • HMDS預處理系統具有的五個優點介紹

        HMDS預處理系統的五個優點。經常有人問,HMDS預處理系統在市場上應用的這么好,究竟他有哪些優點呢?下面為大家介紹一下,HMDS預處理系統具有的五個優點。

      • HMDS涂膠機

        HMDS 預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親 水的,這造成光...

      • HMDS涂膠系統

        在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正...

      • HMDS預處理系統

        預處理性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處...

       
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