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      黃光區設備

      12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管

      Truefur-300 是一款針對12吋晶圓表面涂覆PI膠后的固化烘烤設備 WLP,PLP -> BUMP工藝專用設備

      • 產品信息

      一、產品用途:
      集成電路圓片膠, BPO膠/PI膠/BCB膠固化,IC(晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別;集成電路圓片快速退火

      二、產品特點:
          
      1.一體式人機操作系統,連續式自動化生產,工作效率高,節約人工成本、電能及工藝時間。
          
      2.FEC加熱,升溫迅速且均勻度好
         
      3.不銹鋼材質,表面經物理及化學拋光處理,確保潔凈度。

      4.自帶自清潔功能,可通氫氣清洗內腔

      三、控制系統
      1.人機界面采用觸摸屏方式
      2.控制器采用嵌入式控制器
      3.超溫保護為檢測器件

      4.具有氧含量檢測功能
      5.運動控制為伺服/步進控制單元
      6.傳輸為專業晶元傳輸機器人
      7.軟件具有功能:溫度控制,氣氛控制,工藝編輯,數據記錄,圖表顯示.


      設備名稱

      12吋晶圓BUMP烘烤系統全自動高溫爐管爐

      處理產品

      12inch 晶圓

      處理量

      50PCS/管,共100PCS

      加熱器

      溫度傳感器



      上料口

      2個

      機械手

      1個/2個

      溫度范圍

      150°C-400°C

      升溫速率

      >30℃/min

      降溫速率

      >5℃/min

      加熱功率

      36kW(單爐)

      加熱溫區

      2個

      人機界面

      15寸觸摸屏 門聯鎖 保證工作區安全

      溫度控制方式

      SSR

      程序控制

      PLC控制

      爐膛材料

      石英玻璃

      保溫材料

      陶瓷纖維

      加熱區

      風門加熱區風套

      排氣系統

      自動排氣

      技術細節變動之處,恕不另行通知,具體設備參數以咨詢結果為準。

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