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      行業新聞

      HMDS預處理系統具有的五個優點介紹

       發布時間:2020-07-02 點擊:載入中...

        HMDS預處理系統具有的五個優點介紹

        經常有人問,HMDS預處理系統在市場上應用的這么好,究竟有哪些優點呢?下面為大家介紹一下,HMDS預處理系統具有的五個優點。

        (1)預處理性能更好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會降低,所以有著較好的處理效果。

        (2)處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬的均勻性。

        (3)效率高。液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理4盒的晶片。

        (4)更加節省藥液。實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;

        (5)更加環保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。


      *章僅為個人觀點,不作為技術依據或參考。


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