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      行業新聞

      真萍科技HMDS涂膠機性能

       發布時間:2020-03-12 點擊:載入中...

                在半導體生產工藝中,光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節,涂膠質量直接影響到光刻的質量,涂膠工藝尤為重要。 


             起初,人們用液態的HMDS直接涂到晶片上,然后借著晶片的高速旋轉在晶片表面形成一層HMDS膜。這樣就階段性的解決了基片和光刻膠之間的結合問題,但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是HMDS真空烤箱被研制出現。
      真萍科技HMDS涂膠機
             技術指標:
        1.機外殼采用冷扎鋼板噴塑處理,內膽為不銹鋼316L材料制成;加熱器均勻分布在內膽外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。雙層玻璃門觀察工作室內物體一目了然。
        2.箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。
        3.微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫準確,可靠。
        4.智能化觸摸屏控制系統配套PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序,溫度,真空度及每一程序時間。
        5.HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外漏顧慮。整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100級光刻間凈化環境。
        6.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進入箱體的前端管路加熱,使轉為HMDS氣態時更易。
        7.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當HMDS液過低時發出報警及及時切斷工作起動功能)
        8.溫度與PLC聯動保護功能(當PLC沒有啟動程序時,加溫功能啟動不了,相反加溫功能啟動時,PLC程序不按正常走時也及時切斷工作功能,發出警報)
        9.整個箱體及HMDS氣體管路采用SUS316不銹鋼材料,整體使用無縫焊接(避免拼接導致HMDS液體腐蝕外泄對人體的傷害)
      真萍科技HMDS涂膠機
             真萍科技HMDS真空烤箱的優點:

             1.預處理性能好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以沒有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會降低,所以有著較好的處理效果。
             2.處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以比液態涂布更均勻。
             3.效率高。液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達4盒的晶片。
             4.更加節省藥液。實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;   
             5.更加環保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。
          

      *文章僅為個人觀點,不作為技術參考。具體細節請咨詢技術人員。


      真萍科技作為專業的HMDS涂布烘烤設備制造廠商,可根據客戶特殊需求定制您需要的滿意產品,有需求的客戶詳情請咨詢400-608-2908或搜索真萍科技了解更多,我們將竭誠為您服務。

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